旋转接触角测量仪在半导体晶圆生产中的应用

　　旋转接触角测量仪主要用于测量液体对固体的接触角，即液体对固体的浸润性，可以测量各种液体对各种材料的接触角，而接触角是表征材料表面润湿行难呢过的主要手段，为了确保光学接触角测量仪的寿命以及测量数据的准确性，我们在使用的时候要了解它的维护和保养的主要事项。

 

　　测量仪可以用于：测量光刻胶、晶圆、光伏、塑料、玻璃、陶瓷、木材、纸张、金属等材料的的润湿性、分析表面清洁度、活化过程的质量保证，例如测试等离子处理后的效果、测试疏水涂料和其他涂料的效果等等。

 
          

 

　　接触角测量仪应放在清洁干燥的室内，避免光学零件表面污损，金属零件生锈，尘埃杂物落入运动导轨，影响仪器性能；传动机构及运动导轨，应定期加润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。

 

　　半导体晶圆生产要求品质是非常高的，晶圆表面上的任何瑕疵污渍都会造成芯片的损失，所以需要用接触角测量仪检测晶圆表面润湿性等来判断晶圆表面是否达标。

 

　　测量晶圆材料表面的铺展、渗透、吸收等润湿行为，测量静、动态接触角、测量分析固体的表面自由能、液体的界面和表面张力、全自动注射系统、前进后退角、滚动滑落角等功能。

 

　　液体界面的粘弹性和稳定性：如乳状液／泡沫等体系的稳定性研究等等各种与液／流／固－体系相关的界面现象和过程的测量和分析等。全自动检测整体解决方案，可搭配至流水线上使用，提高检测效率。